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為什么用氦氣作為氦質譜檢漏氣體你知道嗎?
2019.08.23

選擇示漏氣體(示蹤氣體)的原則是:它在空氣中及真空系統中的含量低;檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高;它不會對人員、環境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患;價格低。

質譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體,主要原因如下:

1、氦在空氣中及真空系統殘余氣體中的含量1少(在空氣中約含5.2ppm),在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小。正因為本底小,由某些原因引起本底的波動,亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應出來,靈敏度高。

2、氦的質量小(相對分子質量為4),易于穿過漏孔。這樣,氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大,容易發現,靈敏度高。

3、氦是惰性氣體,不與被檢件器壁起化學反應,不會污染被檢件,使用安全。

4、在氦兩側的是氫(質荷比為2)和雙電荷原子碳(質荷比為6),質荷比都與氦相差較大。這樣,它們在分析器中的偏轉半徑相差也大,容易分開,定標找氦峰時,不易受其他離子的干擾,因此就降低了對分析器制造精度的要求,易于加工。同時,分析器出口電及離子源加速的隙縫也可以加大,使更多的氦離子通過,提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續進行檢漏,提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能(如質量小、易通過漏孔)比氦還好,然而由于氫一方面有易1爆危險,另一方面在油擴散泵中,由于油受熱裂解會產生大量的碳和氫,使氫本底高且波動大,以致靈敏度大大降低,所以很少采用。



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