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氦質譜檢漏儀原理
2020.08.28

它是基于磁場偏轉質譜分析原理而工作的。在高真空的質譜分析室內,待分析氣體的中性分子進入離子室(或離子源) ,受到加熱鎢絲發射出來的電子束的轟擊,分子的相當一部分轉為離子,然后電離的離子束通過電場被加速。分析管在磁場內,根據離子的質量(或準確的說是質荷比m/e) ,該磁場使離子路徑按不同的半徑彎曲。離子束中不同質量的離子被分成幾束,每束只含相同的m/e的離子。氦離子(m/e=4)從較輕的離子(較小半徑的H2+和H1+)和較重的離子(較大半徑的N2+和O2+ )中分離出來。由于有恒定的磁場(磁鐵),調節加速磁場使氦離子沿特定的路徑(通過膜片)撞擊置于直流放大器輸入端的靶子上(或稱收集)。裝置里的氦離子束與氦分壓成正比,根據被接收到的離子流強度,便可得到泄漏的流量值。


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