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真空箱法氦質譜檢漏的原理與系統特點
2020.08.21

真空箱法氦質譜檢漏的充氣回收檢漏系統

1.配置與氣路控制

真空箱:一般為雙工位,兩個不銹鋼真空箱,開門裝置可采用液壓方式,或加配重的手動方式。

工件抽空系統:低真空泵及閥門,低真空測量充氮與回收系統:氦氣儲存罐(高壓罐),氦氣回收取罐(低壓罐),主壓縮機,輔壓縮機,過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。

真空箱抽氣系統:為自動控制型,由面板、PLC系統(可編程邏輯控制器),充氦回收系統,真空箱抽氣系統的電路部分以及為自動檢漏過程提供參考信號的壓力傳感器和熱偶計,同時,實施對整個系統的工作控制,對檢漏過程和結果顯示。

2.系統檢測過程

1)、通過v1、V4,泵系統對工件和真空箱抽真空,如果限定的時間內抽到限定的真空度,此時,電氣控制系統關閉V1,打開V2

2)、充氦系統通過V2對工件進行充氦至核定的壓力,穩定,關閉V2

3)、關閉V4,打開V3、V5,處在正常工作狀態待命的氦質譜檢漏儀進行檢漏,如果不漏,電氣控制系統指揮關斷V3、V5,打開V2對氦氣進行回收。

4)、關閉V2打開V6對真空箱放氣,開啟真空箱更換工件。

5)、如果第三點檢漏儀檢測到超過設定值(漏率)的工件,檢漏儀聲光報警,將:工作內的氦氣回收,對真空箱和管道巾的氦氣通過清潔泵抽除,免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。

6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過大(不超過41),清潔泵也同樣。

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