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氦質譜檢漏儀的幾種檢漏方式
2020.07.03

氦質譜檢漏儀的泄漏檢測方法通常有兩種,一種是常規泄漏檢測,另一種是反向擴散泄漏檢測。反向擴散泄漏檢測是將測試件連接到分子泵出氣口的末端,并且泄漏的氦氣從分子泵出氣口進入安裝在泵進氣口的質譜儀管中,方向相反。泵排氣。這種泄漏檢測方法基于以下事實:分子泵對不同的氣體質量具有不同的壓縮率(分子泵出口處的氣壓與入口處的壓力之比),即不同氣體的反向擴散。

反向擴散法檢漏可以使試件的內部壓力更高。氦質譜檢漏儀可達到300Pa(通常傳統檢漏儀小于0.05Pa),適用于檢測大型容器或泄漏較大的設備。泄漏。反向擴散法還具有不易污染質譜儀管且燈絲壽命長的優點。


如果該對的泄漏率和氣體釋放率較大或體積較大,則如果將泄漏檢測器直接連接到泄漏檢測器,則可能無法拉高泄漏檢測器的真空度,從而導致泄漏檢測器無法工作。在這種情況下,必須添加輔助真空系統以提高試件的抽速。簡單的輔助真空系統僅需要一個機械泵和兩個閥。復雜的系統可以由前級泵,輔助泵,閥門,真空計和標準泄漏組成。次級泵可以是擴散系統或羅茨泵,前級系統優選是氣鎮機械泵。

將測試件連接到儀器的泄漏檢測端口以排空,并用裝滿氦氣的容器覆蓋測試件。如果測試件有泄漏,氦氣會通過泄漏進入測試件,后到達質譜儀管。檢測。測得的泄漏率是被測零件的總泄漏率。無法確定有多少泄漏以及每個泄漏的確切位置。可以看出,鐘罩法是基于噴霧法的檢漏法。

氦質譜檢漏儀通常用于電子組件的背壓檢測。在進行泄漏檢測之前,用的加壓容器將氦氣加壓到試件中(壓力的大小由壓力和時間控制),然后取出試件,吹走表面以吸收氦氣,然后將其放置在的容器中。檢漏罐。泄漏檢測箱連接到泄漏檢測器的泄漏檢測端口,并排空泄漏檢測箱以執行泄漏檢測。如果設備中存在泄漏,則被泄漏壓過的氦會釋放到泄漏檢測罐中到達質譜儀管。用這種方法測得的泄漏率也是總泄漏率。

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