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氦質譜檢漏儀的工作原理
2020.07.01

氦質譜檢漏儀是根據質譜分析原理,以氦為示蹤氣體,對真空設備和密封器件的漏隙進行定位或定量、定性測量的完整系統。


我們知道氣體在電子的轟擊下會產生帶電粒子,帶電粒子在電場的作用下獲得能量做加速動力,而在磁場的作用下將做圓周運動,而具有不同質荷比的離子其運動半徑不同。這就使一束帶電粒子在磁場的作用下按荷質比分離,這門研究使不同質量的粒子在電磁場中運動并依質荷比進行分離的學科稱為質譜學。根據質譜學原理制成的儀器叫質譜儀。氦質譜檢漏儀是質譜儀器中的一種,將質譜儀用于檢漏技術是質譜儀在真空密封檢測技術中的重要應用。

檢漏的基本任務靠采取一些標準檢漏技術來完成,而采用哪種技術要根據被檢件的結構、檢漏的經濟效益及檢漏系統的性質來決定。

近年來由于電子工業的發展,空間探索活動的增加,檢漏技術得到了快速發展,它的重要標志是將以氦為示蹤氣體的氦質譜檢漏儀已快速地進入了各個適用的領域。氦質譜檢漏儀同其它檢方法相比,除檢漏方法不同之外,以它的檢測靈敏度高、速度快,可進行定性、定量、定點的檢測特別是選擇無破壞性、,無危險的隋性氣體氦為示蹤氣體,使它成為今天檢漏儀器當中的佼佼者。

在許多科學領域和制造業中,氦質譜檢漏儀已成為控制和監督產品質量的裝備。尤其近幾年來,電工電子產品的監督檢驗部門和生產廠家,制冷、汽車、航空、航天等行業強化“以質量求生存”的意識,他們在將氦質譜檢漏儀用于生產線和科研應用的同時,不斷探索其在本行業的應用開發并積累了很多經驗。

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