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氦質譜檢漏原理
2020.05.18

氦質譜檢漏技術是以無色、無味的惰性氣體氦氣為示蹤介質、以磁質譜分析儀為檢測儀器,用于檢漏的一種檢測技術,它的檢漏靈敏度可達10-14~10-15Pa?m3/s,可以準確確定漏孔位置和漏率。氦質譜檢漏儀主要由質譜室、真空系統組件和電子學控制元件三大部分組成。質譜室接在分子泵的高真空端,入口接在分子泵和機械泵之間,利用分子泵對不同氣體具有不同壓縮比的特點,氦氣逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室。檢漏儀在質譜室中將氣體電離,這些離子在加速電場的作用下進入磁場,在洛倫茲力作用下發生偏轉,由于不同荷質比的離子具有不同的電磁學特性,偏轉半徑各不相同,在擋板的作用下,氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到,單位時間到達收集板的氦離子對應于一個電流信號,這個電流信號正比于進入到達收集板氦離子的數量,電流信號經過放大后顯示在質譜儀的顯示面板上,其大小反映了泄漏點的漏率,通過泄漏率大小來確定該位置泄漏程度的大小。

氦質譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣,是因為氦氣具有以下優良特性:

①氦氣在空氣中的含量少,體積含量為5.24×10-6,如果氦氣在環境中的含量超過標準,可以比較容易地探測到微量的氦氣;

②氦分子小、質量輕、易擴散、易穿越漏孔、易于檢測也易于清除;

③氦離子荷質比小,易于進行質譜分析;

④氦氣是惰性氣體,化學性質穩定,不會腐蝕和損傷設備;

⑤氦氣,不凝結,難容于水。

今天科儀創新小編和大家分享的是氦質譜檢漏的工作原理,希望對您有所幫助!


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