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常用的標準漏孔及標定方法
2020.04.20
標準漏孔是在一定條件下向真空系統內部提供已知氣體流量的元件。一般要明確這個氣流量(即漏率)的氣體種類、溫度、壓力等條件。如果不特別指明,則指溫度為296±3K、入口壓力為1.01×105Pa、出口壓力低于1.33×103Pa的干燥空氣(其露點溫度低于248K)的漏率。
1.常用的標準漏孔
1.玻璃毛細管型標準漏孔是用局部拉細的玻璃毛細管制成的,漏率為10-8~10-7Pam3/s。
2.金屬壓扁型標準漏孔通常是用無氧銅或可伐管壓制而成,漏率為10-8~10-6Pam3/s。
3.玻璃鉑絲型標準漏孔是利用玻璃與鉑絲的不匹配封接制成的。當鉑絲直徑為0.1~0.5mm;封接長度為5~10mm時,漏率約為10-7Pam3/s。當溫度改變時,其漏率變化。
4.薄膜滲氦型標準漏孔是利用石英薄膜球泡的滲氦速率制成的,其漏率一般為10-5~10-9Pam3/s。由于溫度對漏率的影響很大,使用時應當注意修正。
2.標準漏孔的校準
標準漏孔的常用校準方法有定容升壓法和氦質譜檢漏儀比較法。
(1)定容升壓法
經預抽并烘烤容積V后,標準漏孔進氣端壓力p1<1.33×103Pa,而V達到限真空。當壓力為1.01×105Pa的校準氣體(例如N2氣)經標準漏孔流進容積V,并在V中壓力p2穩定后,關閉閥門S2記錄時間和環境溫度T,測出對應Δt時間的升壓Δp2則標準漏孔的漏率可以計算出。
(2)氦質譜檢漏儀的比較法
在檢漏儀工作條件不變的前提下,先后測出已知漏孔L1和待校漏孔L2的進氣氦壓和訊號,則待校標準漏孔的漏率可計算出。qL,01-已知標準漏孔L1的漏率;p1,p2-分別為L1、L2漏孔進氣端氦壓;I1,I2-分別為L1,L2漏孔的輸出訊號;I0-檢漏儀本底。
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