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氦質譜檢漏儀如何正確使用?
2022.07.08

氦質譜檢漏儀檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術,由于檢漏效率高,簡便易操作,儀器反應靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。

氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰及電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子,在室內來回地振蕩,并與室內氣體和經漏孔進入室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進入磁場,由于洛倫茲力作用產生偏轉,形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收及而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。

(1)內部的密封結構

氦質譜檢漏儀內部存在泄漏時,會對檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。 檢漏儀內部主要的密封部位在檢漏儀的后側(見圖2),位于隔熱板的上方:①檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位,密封方式采用膠灌密封,檢漏儀在運輸過程中如遇到強烈震動,此處容易造成密封膠開裂。②各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封,橡膠圈的密封壽命有限,使用5 年以上時,有可能會存在密封失效的問題。③各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。

(2)定位方法

采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測,因檢漏儀內部結構緊湊,各密封結構間的距離很近,檢測時定位難度較大。經摸索,在檢測時采用以下技巧,可提高定位的能力:①查漏前,先將分子泵風扇的電源斷開,避免風扇將氦源吹散至各個密封環節,造成定位不準確。②噴吹時,要嚴格控制氦源的流量,盡量采用噴槍咀流量小的噴槍,提高定位的能力。③儀器的反應時間小于1 s,所以在一個部位噴吹的時間約3 s,再等待約3 s 后觀測信號有無變化。

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