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英福康氦檢漏儀的撿漏方法
2022.07.07

(1)內部的密封結構

英福康氦檢漏儀內部存在泄漏時,會對檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。 檢漏儀內部主要的密封部位在檢漏儀的后側(見圖2),位于隔熱板的上方:①檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位,密封方式采用膠灌密封,檢漏儀在運輸過程中如遇到強烈震動,此處容易造成密封膠開裂。②各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封,橡膠圈的密封壽命有限,使用5 年以上時,有可能會存在密封失效的問題。③各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。

(2)定位方法

采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測,因檢漏儀內部結構緊湊,各密封結構間的距離很近,檢測時定位難度較大。經摸索,在檢測時采用以下技巧,可提高定位的能力:①查漏前,先將分子泵風扇的電源斷開,避免風扇將氦源吹散至各個密封環節,造成定位不準確。②噴吹時,要嚴格控制氦源的流量,盡量采用噴槍咀流量小的噴槍,提高定位的能力。③儀器的反應時間小于1 s,所以在一個部位噴吹的時間約3 s,再等待約3 s 后觀測信號有無變化。

1.為了正確使用英福康氦檢漏儀,在充入檢漏氣體前有必要對抽空樣品進行預抽空。如果在填充前沒有排空,試件中的空氣將被擠壓到幾何空間的末端,英福康氦檢漏儀中的氣體不能進入該部分,因此潛在的檢漏孔將僅釋放空氣,檢漏設備不能檢測到這些檢漏孔。

2.英福康氦檢漏儀的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在檢漏氣體試驗前放在水箱中,這些泄漏孔或毛細管會被水堵塞或充滿,從而大大影響檢漏結果。

3.在填充檢漏氣體之前,有必要快速測試是否有大的泄漏。對大泄漏孔的一個簡單測試方法是在短時間內抽空樣品并觀察抽空壓力。如果樣品能夠保持抽空壓力,則表明沒有大的泄漏孔,可以填充泄漏檢測氣體。

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