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氦氣檢漏儀的工作原理是什么?
2022.05.23

氦氣檢漏儀主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰電離真空計組成,離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子。

分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質荷比不同;在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離,再設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙;打在收集器上。

收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器,通過測量離子流就可知漏率,冷陰電離真空計指示質譜室的壓力保護裝置。

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