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氦質譜測漏儀校準應用
2020.02.26
在使用氦氣標準漏孔對氦質譜測漏儀進行校準時,氦質譜測漏儀內部校準值要設定和標準漏孔的實際漏率值一樣,然后按照校準程式進行校準,后將校準后的結果保存,校準完畢;另外還可以在檢漏儀吸式工作狀態時將吸槍靠近校準漏孔泄漏點,比較一下氦質譜檢漏儀上的測量值和標準漏孔的實際值的差異,然后在進行校準,再比較。
氦氣標準漏孔氦質譜測漏儀應用
氦質譜檢漏儀 吸式(Sniffer mode)使用時,數值會產生誤差,使用標準氦氣漏孔對氦質譜檢漏儀 進行校準,在實際應用中非常必要,Pfeiffer CL 004 氦氣標準漏孔提供一個工業標準漏率值,氦質譜檢漏儀對應此標準漏率值進行校準,可以提高氦質譜檢漏儀的度,達到一個更好的測試效果。
將氦質譜測漏儀 HLT 560連接到泵組前的檢漏口上.
啟動檢漏儀, 檢漏儀開始抽取密閉腔體中的氣體,同時啟動鍍膜設備的泵組.
在鍍膜機內部的真空下降到一定程度的時候,如0.5 mbar以下的時候,拿氦氣噴在懷疑有漏的地方,或者檢查標準保養時動到的部位.這時需要有人觀察檢漏儀的漏率指示值的變化.當漏率上升或漏率值變化劇烈的時候,及時指出漏點所在位置,并做記號.
所有可疑點都檢測完成后,關閉氦質譜測漏儀,停下鍍膜機的泵組并將鍍膜機打開,將檢測出的漏點進行處理(如更換密封圈,清潔等等).處理完成后,再按照前敘步驟檢查一遍,直到所有漏點都被清除,檢漏過程完成.
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