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氦質譜檢漏儀的工作原理:
2022.04.22

 氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子,在室內來回地振蕩,并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進人磁場,由于洛倫茲力作用產生偏轉,形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。     

氦質譜檢漏法是利用氦質譜檢漏儀的氦分壓力測量原理,實現被檢件的氦泄漏量測量。當被檢件密封面上存在漏孔時,示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會從漏孔泄出,泄漏出來的氣體進入氦質譜檢漏儀后,由于氦質譜檢漏儀的選擇性識別能力,僅給出氣體中的氦氣分壓力信號值。在獲得氦氣信號值的基礎上,通過標準漏孔比對的方法就可以獲得漏孔對氦泄漏量。     

根據檢漏過程中的示漏氣體存貯位置與被檢件的關系不同,可以將氦質譜檢漏法分為真空法、正壓法、真空壓力法和背壓法,以下總結了這四種氦質譜檢漏法的檢測原理、優缺點及檢測的標準。


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