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氦質譜檢漏儀的進展
2022.03.16

經過近半個世紀的努力,今天的氦質譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
集中體現在如下幾個方面:

(1 )便攜式:近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。

(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數百帕左右,對檢測大系統和有大漏的工件很有益。

(3) 自動化程度高:自動校準氨峰,自動調節零點,量程自動轉換,自動數據處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一-次的全檢漏過程。

(4)全無油的干式檢漏:有些生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。

(5)檢漏范圍寬:現今生產的四檢漏儀,質量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。

分子泵排氣系統取代擴散泵排氣系統,不僅解決了油蒸氣對質譜室的污染問題,而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同,分子泵- 般采用多級構造和幾種不同的轉速。例如:瑞士、日本采用改變分子泵轉速來達到此目的,且提高檢漏靈敏度。

另外,逆擴散檢漏方式,實現了高壓強下檢漏,也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。


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