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氦質譜檢漏儀的注意事項
2022.02.25

檢漏儀的響應時間會影響檢漏工作的速度,正常運行的儀器響應時間不大于3s。筆者實測時,在漏點處噴射氦氣5~10s后,檢漏儀就發生響應,對于如此龐大的真空系統,其反應是相當的靈敏。

檢漏時噴槍在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍,該時間再加上氦氣在真空系統中的傳遞時間,即為兩次噴氦的較小間隔時間,當然真空系統越龐大,該間隔時間也越長。筆者根據實測經驗,兩次噴氦的較小間隔時間控制在30s左右,即如果次噴氦后30s內檢漏儀還沒有反應,則可進行第二次噴氦。

清除時間在理論上與響應時間相同,但由于儀器零件對氦的吸附和脫附作用的影響,清除時間一般要更長些。筆者測算,在測試到數量級為10-9P a ?m3/s的微漏漏點時,清除時間約須1分鐘;在測試到數量級為10-8P a ? m3/s的中漏漏點時,清除時間約須2分鐘;在測試到數量級為10-7Pa?m3/s的大漏漏點時,清除時間在3分鐘左右。

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