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氦質譜檢漏儀的校準方法
2021.12.22

(1) 漏率校準① 校準系統的組成

校準系統由標準漏孔、截止閥及需校準的氦質譜檢漏儀組成。

②示值誤差

通電預熱,待氦質譜檢漏儀啟動完成后,采用標準漏孔對氦質譜檢漏儀進行校準,將一經過校準的標準漏孔接入氦質譜檢漏儀系統,運行氦質譜檢漏儀,待漏率示值穩定后,可以讀出標準漏孔漏率的氦質譜檢漏儀示值,同一標準漏孔測量三次,計算氦質譜檢漏儀示值平均值,從而得到標準漏孔漏率與氦質譜檢漏儀示值平均值的示值誤差。結束后,將其他量級的標準漏孔依次按此方法接入氦質譜檢漏儀系統進行測試,得到氦質譜檢漏儀在每一量級下漏率的示值誤差。

如果測試結果有較大編差,可以考慮氦質譜檢漏儀的自校功能,待完成后,再用標準漏孔進行測試。

③ 重復性

測量重復性是用實驗標準偏差表征的,本校準方法采用差法來表征重復性。在示值誤差測量中,每一標準漏孔用氦質譜檢漏儀重復測量三次,可用公式(2)計算氦質譜檢漏儀在該漏率下的重復性。


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