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真空計校準方法概述
2021.11.15

真空計校準是真空測量的基礎,是研究和發展真空測量的有力工具。它不但能使已有的相對真空計統一在可靠的標準之下,而且還可對發展中的真空計進行性能的研究。

所謂“真空計校準”就是對相對真空計進行“刻度”。真空計刻度是在一定條件下對一定種類氣體進行的,從而得到校準系數或刻度曲線。因此氣體種類的改變或工作條件的變化,原校準曲線就不能使用,必須重新進行校準。同一臺測量儀器,更換規管時校準曲線也會發生變化。由此觀之,對相對真空計校準是非常必要的,又要定期進行,否則會產生超過允許的測量誤差。

校準是對真空計整體而言,既包括所謂的一次儀表的真空規管,又包括所謂的二次儀表的電子線路。通常是二者合在一起進行校準,也可以分別對真空計規管和電子線路進行校準,而后者是較為理想的。

真空計校準的前提是必須有標準真空計和校準系統,并通過一定方法進行。

真空標準有真空計、標準相對真空計(或副標準真空計)和校準系統。所有真空計均可作為真空標準。而以真空計為基準,將經過壓力衰減后計算出的再生低壓力作為標準的真空計校準系統稱為校準系統。

如膨脹法校準系統應用靜力熱平衡,其理論基礎為理想氣體的玻意耳定律,把U型管壓力計校準下限延伸至高真空(10-4Pa)。穩定性和精度高的真空計,經過校準之后,可作為次級標準,對工作真空計進行校準,稱這種真空計為副標準真空計。

在計量學中,所謂標準是按精度等級排列的一個體系。技術監督局批準并于1990年5月1日實施“真空計量器具檢定系統"(JJG2022—89)。根據當前真空技術發展水平,真空獲得和真空測量范圍,已從大氣壓(lO-5Pa)至高真空(< lO-10Pa)。但工業生產和科學研究中,實際廣泛應用的壓力范圍為10-8~105Pa。

為了保證該范圍內真空度量值的準確一致,制定了檢定系統,進行真空度量值傳遞,檢定各級真空計時器具。該檢定系統主要適用于lO-8~lO5Pa范圍內,計量、科研和工業部門使用的真空標準裝置和真空計的檢定。

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