公司資訊
氦質譜檢漏儀在真空度檢定中的應用
2019.12.17

氦質譜檢漏儀是用氦氣作示漏氣體,以氣體剖析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。

氦氣作為一種惰性氣體,對設備無腐蝕性,對容器環境和質譜環境干擾小,因此常作為泄漏氣體使用。

將這種氣體噴到接有檢漏儀(即調整到僅對氦氣反響的作業狀態的氣體剖析儀)的被檢容器上,若容器有漏孔,則剖析儀即有所反響,從而可知漏孔所在及漏氣量巨細。 氦質譜檢漏技能是真空檢漏領域里不行缺少的一種技能,因為檢漏效率高,簡潔易操作,儀器反響靈敏,精度高,不易受其他氣體的攪擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。以西格瑪旗下的 SAFC Hitech 子公司為例Epichem (Epichem Limited,特別氣體分部) 要求 ESS 設計并制作了一套檢測系統, 用于泵壓、烘烤、真空檢漏、正壓走漏檢測以及有機金屬起泡劑的制備氣認證。

起泡器 (曩昔常用于向半導體工業提供有機金屬) 是一些體積較小的金屬罐,配置有進出閥。因為具有高真空超潔凈的特點,因而起泡器在填充前要求適當的潔凈。一起,因為起泡器內填充的是氧氣,避免走漏發作也至關重要。 針對此應用,一種特別的雙進樣端口的質譜系統,它具有一個經校準的正壓走漏測驗模塊,還具有一個主動化的高真空測驗模塊。首先,將起泡器放置于平臺上。

運用氦氣填充至一定壓力,所有的接頭都運用正壓走漏檢測設備“嗅辨”一下。檢測到的走漏記載與起泡器序列號一一對應,發作超過用戶設置的zui大允許成果走漏的起泡器都會被回絕放行。 然后將起泡器設備 10 個一排的設備上,該設備配有無油前級泵和渦輪分子泵。在軟件控制下,外部管線抽真空并堅持狀態,然后操作者運用外噴霧查看一切接頭時, 質譜系統能夠監測 氦走漏。 若經過走漏測驗,將起泡器抽真空、烘烤。

測試結束后,氦質譜檢漏儀系統將對鼓泡器和連接管中的氣體進行主動分析。為了保證試驗結果,所有鼓泡器中的水、氧和溶劑濃度必須小于1ppm。試驗結束后,提醒操作人員試驗結果是否合格或不合格,并記錄所有試驗數據,以便追溯。

又污又爽又黄的网站,无码精品视频一区二区三区,灵狐者h小说